Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 7 - Khuếch tán

Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 7 trình bày về khuếch tán trong công nghệ bán dẫn, bao gồm phương trình Fick, mô hình khuếch tán nguyên tử (nút mạng, xen kẽ), và ảnh hưởng của tạp chất.