Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 4 - Oxy hoá
Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 4 trình bày về quá trình oxy hóa silic (Si) để tạo SiO2, mô hình Deal-Grove, tốc độ oxy hóa tuyến tính/parabol, và vai trò của SiO2 trong vi điện tử.
Xin lỗi bạn không thể down load tài liệu này. Bạn có thể xem tài liệu trực tuyến trên website hoặc liên hệ thư viện trường để được hướng dẫn. Cảm ơn bạn đã sử dụng dịch vụ của chúng tôi.
Bạn vui lòng tham khảo thỏa thuận sử dụng của thư viện số.