Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 4 - Oxy hoá

Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 4 trình bày về quá trình oxy hóa silic (Si) để tạo SiO2, mô hình Deal-Grove, tốc độ oxy hóa tuyến tính/parabol, và vai trò của SiO2 trong vi điện tử.