Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 3 - Epitaxy và làm sạch phiến

Bài giảng về epitaxy: định nghĩa, phân loại (đồng chất, dị chất), khuyết tật, ứng dụng (nano, bán dẫn), phương pháp (VPE, LPE, MBE, ALE) và làm sạch phiến.